CBN砂轮、金刚石砂轮、电镀CBN砂轮

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金刚石砂轮磨削硅片的影响

金刚石砂轮在磨削硅片中,金刚石的自身参数都会对硅片的磨削效果有影响,例如砂轮的粒度,转速等。


砂轮的粒度对金刚石砂轮磨削硅片的表面粗糙度有影响,表面粗糙度随着砂轮粒度的减小而减小,亚表面损伤也随着砂轮粒度的减小而减小

砂轮转速的影响,砂轮转速对金刚石砂轮磨削硅片的表面粗糙度是随着砂轮转速的增大而减小,但是减小的趋势不是很明显。亚表面损伤随着砂轮转速的增大而减小,减小的趋势非常明显。

砂轮的进给速度,

砂轮进给速度的影响。砂轮进给速度对金刚石磨削硅片的表面粗糙度随着进给速度的增大而增大,亚表面损伤也是随着砂轮的进给速度地增大而增大。

硅片转速的影响,工件表面粗糙度的会随着硅片转速的增大而增大,但是变化幅度并不是很明显

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